PlasmaX-Lab全能型實(shí)驗(yàn)等離子表面處理設(shè)備
PlasmaX-Lab全能型實(shí)驗(yàn)等離子表面處理設(shè)備，是一款專為精密表面工程設(shè)計(jì)的高端工具。其鋁質(zhì)構(gòu)造的450 x 300 x 300mm反應(yīng)艙配備可視窗口，提供40.5升的寬敞處理空間，支持大范圍的實(shí)驗(yàn)需求。采用獨(dú)特的二級(jí)等離子設(shè)計(jì)和水冷電極，PlasmaX-Lab保證了處理過程中的極致均勻性和效率，滿足了高精度表面處理的嚴(yán)格要求。
該設(shè)備搭載高效的螺桿真空泵和精確的薄膜規(guī)真空計(jì)，能快速達(dá)到所需的處理環(huán)境，同時(shí)保證過程中的穩(wěn)定性。其PLC控制系統(tǒng)通過觸摸屏操作，提供自動(dòng)化處理流程、精確監(jiān)控和參數(shù)調(diào)整能力，大大提高了操作便利性和處理的可重復(fù)性。PlasmaX-Lab還支持雙氣體輸入，配有先進(jìn)的氣體流量控制器和液體輸入系統(tǒng)，確保了處理過程的靈活性和多樣性。
此外，PlasmaX-Lab強(qiáng)調(diào)安全性能，配備急停開關(guān)以應(yīng)對(duì)緊急情況，確保使用過程中的安全。其380V AC, 50HZ, 40A的電源需求，配合0~300W可調(diào)的頻射發(fā)生器，使得該設(shè)備不僅適用于多種材料處理，同時(shí)也兼顧環(huán)保和能效。
設(shè)備參數(shù)
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反應(yīng)艙 |
材料：鋁 有效尺寸：450 x 300 x 300mm 容積：40.5升 艙門：裝有可視窗口 電極：二級(jí)等離子設(shè)計(jì)，保證單層均勻性和層間均勻性。同時(shí)包含水冷電極。 樣品盤：1套，尺寸：350 x 250mm |
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真空度測(cè)量 |
薄膜規(guī)真空計(jì)，保證真空度測(cè)量精度 |
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真空泵 |
螺桿真空泵；24m3 /h |
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頻射發(fā)生器 |
0~300W可調(diào)，MHz發(fā)生器 |
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控制系統(tǒng) |
觸摸屏操作，PLC控制系統(tǒng) PLC可實(shí)現(xiàn)下列功能： 自動(dòng)控制反應(yīng)過程； 根據(jù)處理材料設(shè)定不同的處理工藝流程； 測(cè)定真空度、抽真空時(shí)間、充氣流速、處理時(shí)間、溫度、頻射發(fā)生器輸入功率等指標(biāo)； 監(jiān)測(cè)所有的運(yùn)行指標(biāo)，保證在設(shè)定范圍之內(nèi)； 設(shè)定操作、維護(hù)密碼。 |
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電源 |
380V AC, 50HZ, 40A |
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反應(yīng)氣體 |
2個(gè)氣體輸入端口，含氣體流量控制器（MFC）。 |
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氣體輸入 |
直徑1/4’’ 管道；輸入壓力：1Bar. |
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液體輸入 |
包含液態(tài)單體氣化裝置，可以設(shè)定液態(tài)單體流量，氣化溫度 |
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尾氣排放 |
包含尾氣輸出端口 |
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安全性能 |
急停開關(guān) |
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